Kitajska se sooča s kritično tehnološko vrzeljo pri posebnih plinih za aplikacije zelo velike integracije (VLSI) in ultra velike integracije (ULSI), pri čemer so plini, ki presegajo čistost 6N (99,9999 %), popolnoma odvisni od uvoza.
Za reševanje naraščajočega povpraševanja po posebnih elektronskih plinih v proizvodnji polprevodnikov, proizvodnji elektronike in fotonapetostni industriji je naše podjetje v zadnjih letih vzpostavilo strateško industrijsko-univerzitetno partnerstvo z univerzo Zhejiang. To sodelovanje se osredotoča na razvoj elektronskih plinov razreda 6N-, premostitev domačih tehnoloških pomanjkljivosti in reševanje tega kritičnega izziva.
Junija 2025 je naše podjetje ustanovilo posebno ekipo za inovacije plina in opreme Univerze Zhejiang, ki je namenjena zagotavljanju dobaviteljem polprevodnikov z naprednimi proizvodnimi sistemi za elektronske plinske izdelke.
S skupnimi raziskavami in skupnimi tehnološkimi preboji smo uspešno razvili proizvodne in čistilne sisteme za obsežen portfelj posebnih plinov visoke-čistosti, vključno z: dušikovim oksidom (N₂O), borovim trikloridom (BCl3), trimetilsilanom (3MS), propilenom (C3H₆), oktafluorociklobutanom (C₄F₈), heksafluoroetan (C₂F₆), vodikov bromid (HBr) itd.
Poleg tega smo dosegli velike preboje v tehnologiji enote za ločevanje zraka (ASU), pri čemer smo dosegli visoke stopnje rekuperacije argona in delovanje z nizko-energijo, s čimer smo občutno povečali splošno učinkovitost sistema in ekonomsko uspešnost.
Za reševanje naraščajočega povpraševanja po posebnih elektronskih plinih v proizvodnji polprevodnikov, proizvodnji elektronike in fotonapetostni industriji je naše podjetje v zadnjih letih vzpostavilo strateško industrijsko-univerzitetno partnerstvo z univerzo Zhejiang. To sodelovanje se osredotoča na razvoj elektronskih plinov razreda 6N-, premostitev domačih tehnoloških pomanjkljivosti in reševanje tega kritičnega izziva.
Junija 2025 je naše podjetje ustanovilo posebno ekipo za inovacije plina in opreme Univerze Zhejiang, ki je namenjena zagotavljanju dobaviteljem polprevodnikov z naprednimi proizvodnimi sistemi za elektronske plinske izdelke.
S skupnimi raziskavami in skupnimi tehnološkimi preboji smo uspešno razvili proizvodne in čistilne sisteme za obsežen portfelj posebnih plinov visoke-čistosti, vključno z: dušikovim oksidom (N₂O), borovim trikloridom (BCl3), trimetilsilanom (3MS), propilenom (C3H₆), oktafluorociklobutanom (C₄F₈), heksafluoroetan (C₂F₆), vodikov bromid (HBr) itd.
Poleg tega smo dosegli velike preboje v tehnologiji enote za ločevanje zraka (ASU), pri čemer smo dosegli visoke stopnje rekuperacije argona in delovanje z nizko-energijo, s čimer smo občutno povečali splošno učinkovitost sistema in ekonomsko uspešnost.
